到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测机台总和已接近1400台

文 | 特约撰稿东谈主 顾翎羽 吴俊宇

剪辑 | 马克

这似乎让东谈主偶然。荷兰光刻机巨头ASML（阿斯麦 NASDAQ：ASML）在中国录得事迹新高。

中国大陆地区的营收在ASML寰球收入结构中占比一直在10%-20%之间，2023年这一占比握续飙升。ASML财报娇傲，2023年一季度中国大陆地区营收占比为8%，二季度为24%，三季度骤增至46%。2023年前三季度，中国大陆从ASML采购了52.8亿欧元（403亿元东谈主民币）的光刻机征战，这一数字约为2022年ASML在中国全年销售额的两倍。

11月5日，ASML寰球副总裁、中国区总裁沈波在进博会上接收媒体采访时流露，到2023年底，ASML在中国的光刻机总和将接近1400台。

光刻是芯片制造的不毛身手。以光源波长永别，光刻机分为UV（紫外线）、DUV（深紫外线）、EUV（极紫外线），表面上7纳米及以下的先进芯片制程工艺只可通过EUV杀青。

ASML是寰球最大的光刻机制造商，亦然惟一的EUV光刻机供应厂商。有不雅点以为，ASML的技巧本领事实上成为了半导体工业膨胀的瓶颈。中国的芯片制造念念更快打破先进制程，赢得ASML的先进光刻机是要津。

如台积电一样，受制于地缘政事，ASML也不成完全按照营业逻辑运行，中国大陆无法购买ASML首先进的EUV光刻机，14nm以下制程的国内产线主要依赖于DUV光刻机。

2023年9月1日，荷兰的《先进半导体制造征战法则》奏效。除了EUV征战之外，荷兰还将部分先进制程所需的DUV居品——TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的要津浸润式DUV系统加入管制。

10月17日，好意思国再次升级对华芯片制裁，影响ASML现时能对中国出口的首先进的光刻机NXT1980Di。

中国大陆念念从ASML赢得先进光刻机，越来越难了。

但ASML的中国业务为什么会在第三季度飙升到新高？这种增长能握续多久？2024年，中国还大要从ASML买到先进制程所需的光刻机吗？

ASML在中国卖什么居品？

ASML的居品种类不错分为I-line、KrF、ArF干法、ArF浸没式和EUV。

EUV光刻机主要对应制程在7nm以下，亦然国内一直无法赢得的居品。受到中国客户柔柔的主要居品是DUV光刻机，型号包括XT1900以及NXT系列，其中NXT又分为比拟老练的NXT1980和相对先进的NXT2000/2050/2100，对应制程约在38nm以下。

一样型号的光刻机也会有细分分类，比如NXT 1980系列中也区分Ei、Di、Fi等版块，这种分类主要互异在于单元产能和套刻精度上的区别，障翳制程莫得太大区别。

光刻机售价奋斗，无论是EUV如故DUV光刻机，一台售价齐在1亿好意思元以上。

ASML在2021年投资者日公布的一份文献娇傲：“要津浸润式DUV”包括了NXT2000i、NXT2050i和NXT2100i三个型号，而“中高端浸润式DUV”（mid-cirtical）包括了NXT1980Di，在研的NXT1980Ei和NXT1980Fi。

其中，前三款居品中国仍是无法买到。

其中，前三款居品中国仍是无法买到。

荷兰政府颁布的《半导体征战出口管制新规》在本年9月1日奏效后，ASML发运TWINSCAN NXT2000i及后续推出的浸润式光刻系统齐必须赢得荷兰当局的许可。经由ASML与荷兰政府的疏导，荷兰政府允许ASML本年不绝发运9月1日前已下单客户的TWINSCAN NXT2000i及后续推出的浸润式光刻系统。但是自2024年1月1日起，ASML将基本不会赢得向中国客户发运对华出口这些居品的出口许可证。这些居品将事实上对中国禁运。

NXT1980Di是中国现时大要购买到首先进的ASML居品，国内主要将其用于28nm产线，通过多重曝光技巧有契机作念到更先进的制程。

ArFi光刻机表面上齐不错通过多重曝光技巧杀青10nm-7nm工艺制程，光刻机型号的互异更多是体当今良率上。但是，多重曝光技巧自己会影响良率和产能，会导致工艺阶梯变长，不清醒要素增多。增增加重曝光的次数，良率和产能齐会着落，经济性会大打扣头。

好意思国试图堵上中国哄骗这种技巧打破先进制程的间隙。2023年10月17日，好意思国商务部工业和安全局（BIS）针对中国更新的“先进贪图芯片和半导体制造征战出口管制功令”（详见《财经》10月18日著作《好意思升级对华AI芯片制裁力度，好意思芯片企业提议担忧》） ,将“专用卡盘障翳”值的管制范围从小于等于1.5纳米，上涨到2.4纳米，而NXT1980Di的“专用卡盘障翳”为1.6纳米，本来不在管控范围，当今被纳入。

ASML高层在10月18日的财报会上暗意，原则上NXT1980Di受好意思国芯片出口管制收尾，但该收尾的前提是这些光刻机被用来出产先进制程的芯片，NXT1980Di（较此前受到收尾的DUV光刻机）属于低端浸润式器具，因此好意思国出口管制新规只会收尾中国个别芯片厂。

“咱们也有好多中国客户用这些机器出产中端、老练制程，这些情况下莫得安全的忧虑，咱们就不错出货，”ASML的CEO温宁克（Peter Wennink）暗意。

ASML中国收入为何飙升？

在这样的布景下，ASML向中国大陆客户的出货猛增。

2023财年前三财季，中国大陆阛阓营收占比分别为8%、24%、46%，从第四大阛阓跃居至第一大阛阓。第三季度中国销售额至24.42亿欧元，创下ASML在中国单季销售记载。

行业遍及以为，ASML正在新规奏效前邻接向中国客户托福居品，2022年及以前中国阛阓的积压订单在2023年邻接开释。

在这次财报会上，ASML防守层暗意，中国对DUV征战的需求握续强盛。中国阛阓占比高是因为中国客户畴昔的订单好多莫得托福，其中好多订单齐仍是预支款。关于本年向中国客户发货的居品，大部分订单是在2022年预订的。

畴昔两年中国大陆客户的需求得志率显著低于50%。这些客户实质上收到的光刻机数目比订购的要少得多。中国邻接采购的的光刻机以老练制程为主，绝对是合乎好意思国出口管制划定内的居品。

也等于说，ASML中国收入激增，主要来自于老练制程的鼓动。关联词，中国芯片厂为什么需要这样多老练制程？

一方面，凭证ASML防守层开释的音尘，中国仍在参与先进制造的芯片厂的数目急剧着落。“当咱们与中国客户进行阶梯磋磨时，他们齐后退了，而不是前进。”温宁克暗意。ASML公司CFO 达森（Roger Dassen）也暗意，公司的中国客户旧年就调遣了标的，触及先进制程的芯片厂已大幅着落，“淌若这是（好意思国芯片出口管制的）计算，当今仍是杀青了。”

绝大多数中国芯片厂齐仍是转向中端、老练制程。无论是电动汽车，如故动力转型，这些产业发展齐需要多半的芯片复古。而中国正在谋求建筑自主可控的这种产线的本领。“他们会愈加接近自主，但不会完全自主，因为当地的需求太大了。”温宁克暗意。

《财经》了解到，以电动车为例，一些头部车企均有我方的芯片国产化率方案。

另一方面，中国客户的转向不是一种完全孤单的增长。一位国际芯片讨论机构分析师暗意，全天下齐在营建Fab（半导体制造厂）。这影响了对半导体征战的需求。畴昔，半导体产业中想象和制造分离，主要由台积电这样的代工场流片和制造。但是在这次供应链危急之后，无论是好意思国、欧洲，如故日本齐推出了刺激性的芯片法案，荧惑半导体土产货制造，是以天下各地齐兴起了芯片制造厂的建厂飞扬，这些增加的产能主要邻接在老练制程。他以为，这是半导体产业将经济逻辑让位于安全逻辑的典型发扬，如斯产能多余将不可幸免。

“被卡的”不仅是光刻机

ASML在中国的生意正处在地缘政事的激流之中。

一位资深业内东谈主士告诉《财经》，凭证他的估算，国内的NXT1980Di现时不会非凡80台，而2000i 及以后的型号不会非凡5台。

在10月18日的财报会上，ASML CEO温宁克暗意，对中国客户的出口收尾很难调动。“该划定是政府间深切疏导的成果，调动的前提是地缘政事领先调动。”

他还展望，按照ASML本年在中国大陆的业务范围估算，新法则会对2024年中国大陆业务产生10%-15%的影响。

事实上，好意思国和荷兰针对ASML的出口收尾，影响也不仅限于部分先进光刻机。

一位芯片技巧东谈主士对《财经》暗意，光刻机采购之后，后续的珍贵、爱护、劳动也高度依赖ASML。辅材购买也高度依赖好意思日韩荷等企业。只购买光刻机，远远不及以澈底防守卡脖子的问题。

多位产业界东谈主士向《财经》暗意，由于入口受限，国内产线存在征战超期执戟、维修珍贵难、要津零部件无法更换的快意。光刻机零部件繁多，而国内的供应体系才刚刚建筑，发展水平仍与国外有显著互异。

华义创投高档投资司理方亮告诉《财经》，当咱们谈到“卡脖子”的时辰，不要只盯着光刻征战，领先要成立产线是东谈主员、征战、材料、工艺参数和出产环境五者有机息争的不雅念，要充分筹商光刻之外身手所需征战、材料以致软件的禁运问题。

责编｜田洁